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    凈化知識

    半導體車間凈化工程的空氣潔凈度劃分等級

    文字:[大][中][小] 手機頁面二維碼 2020/12/3     瀏覽次數:    

    隨著半導體產業鏈相關技術的不斷突破,加之我國在物聯網、人工智能、新能源汽車等下游市場走在世界前列,有望在更多細分市場實現國產替代。隨著物聯網、5G通信、人工智能等新技術的不斷成熟,消費電子、工業控制、汽車電子等半導體主要下游制造行業的產業升級進程加快。下游市場的革新升級強勁帶動了半導體企業的規模增長。新興科技產業將成為行業新的市場推動力,并且隨著國內企業技術研發實力的不斷增強,國內半導體行業將會出現發展的新契機。



    隨著計算機、微電子和信息技術的發展,推動了電子制造業的飛速發展,也帶動了無塵車間潔凈室技術的發展,同時對潔凈室的設計提出了更高的要求,電子制造業的無塵車間施工設計是一項綜合的技術,只有充分了解電子制造業的無塵車間設計特點,做到設計合理,才能讓電子制造產業的產品次品率降低,提高生產效率。半導體集成電路生產環境規定的空氣潔凈度等級主要取決于半導體集成電路的集成度,不同的工序的空氣潔凈度等級是依據將會污染的概率和對元器件的潛在故障確定的。

    例如在半導體集成電路生產的光刻工序中,硅片露出在生產環境中,污染概率很高時元器件的廢品率也會很高,所以為避免出現這種傷害,現階段在超大規模半導體集成電路的潔凈廠房中一般選用微環境,把加工工藝核心區隔離,在微環境的隔離區內做到所規定的空氣潔凈度等級和環境控制規定(M度、相對濕度、壓力)。


    工作區域是由人和/或自動處理設備對晶片開展加工的區域,為保障作業區域內產品免被污染,一般選用單向流或微環境把人和露出的產品隔離。公共設施區是設定晶片生產設備無操作人員的接口部分,此區域內所開展的作業通常不露出于生產環境中。工作區域與公共設施區通常是緊鄰布局。服務區是既無產品又無生產設備的區域,一般接近工作區域和公共設施區。


    實際上,現階段國內外的集成電路制造公司、廠家按各自生產的產品品種、選用的生產工藝技術、生產設備、生產用原輔料以及潔凈室的實踐經驗等經濟地確定集成電路潔凈廠房各工序(房間)規定的空氣潔凈度等級。據了解,各集成電路制造公司、廠家在設計建造集成電路車間凈化工程的潔凈廠房時選用的空氣潔凈度等級、潔凈室的平面和空間布局、空氣凈化系統、潔凈室建筑等方面的技術方案、技術措施均各具特色、不盡相同。

    CW-RPC300遠程遙測激光塵埃粒子計數器是深圳賽納威研發的智能多點凈化檢測系統的終端設備。為用戶提供實時準確地遠程測量所監控環境的微粒數量和凈化等級。根據不同需要增加或減少控制終端,可實現7*24實時遠程自動監測,通過RJ45網絡接口、WiFi、485(moudbus)等,將數據送給PC終端,顯示當前監測環境的潔凈狀況。該粒子計數器按照國際標準ISO14644-1,GMP和日本工業標準(JIS)要求標定,專業應用于電子行業、制藥車間、半導體、光學或精密機械加工等潔凈室環境自動監測系統。


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